|
题名:
|
真空镀膜 zhen kong du mo / 李云奇编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-122-12780-8 价格： CNY85.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
310页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2012 |
|
内容提要:
|
本书是本着突出近代真空镀膜技术进步, 注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章, 内容包涵了真空镀膜中物理基础, 各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求, 各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控, 真空镀膜工艺对环境的要求等。本书具有权威性、实用性和通用性。 |
|
主题词:
|
真空技术 镀膜工艺 |
|
主题词:
|
真空技术 |
|
主题词:
|
镀膜工艺 |
|
中图分类法:
|
TB43 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
李云奇 li yun qi 编著 |