题名:
薄膜技术与薄膜材料   bao mo ji shu yu bao mo cai liao / 田民波,李正操编著 ,
ISBN:
978-7-302-27483-4 价格: CNY49.00
语种:
chi
载体形态:
13,531页 图 26cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 清华大学出版社 出版日期: 2011
内容提要:
本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面,知识全面,脉络清晰。 
主题词:
薄膜技术  
主题词:
薄膜   工程材料
中图分类法:
TB43 版次: 5
中图分类法:
TB383 版次: 5
主要责任者:
田民波 tian min bo 编著
主要责任者:
李正操 li zheng cao 编著
附注:
材料科学与工程系列