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题名:
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高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 gao shu zhi kong jing tou ying guang ke wu jing de guang xue she ji / 徐安成著 , |
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ISBN:
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978-7-5674-1789-2 价格： CNY58.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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125页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 东北林业大学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书共五章，内容包括：绪论、高数值孔径投影光刻物镜的设计优化、高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究、高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略研究、总结与展望。 |
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主题词:
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投影光刻物镜 光学设计 |
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中图分类法:
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TH74 版次： 5 |
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主要责任者:
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徐安成 xuan cheng 著 |